全国统一服务热线
0510-85167890 85167788

咨询热线:

0510-85898508

联系人:陈康

手机:15951570787

地址:江苏省无锡市滨湖区青龙山路青龙山工业园C区127-2号

HMDS(硅片光刻预冲理系统)

HMDS(硅片光刻预冲理系统)

该系统是用在芯片制造商光刻前对wafer进行预处理。即在高温高真空的状态下均匀喷洒雾状“OAP”药液并在氮气保护下烘干以增强wafer的光刻性能。它在PLC控制下按程序自动完成抽真空(-760托)、充氮、加温150℃控温、喷药液、计时、计批、报警等功能