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该机主要用于晶圆片表面的二氧化硅腐蚀及清洗。特点：机械手搬运花篮，药液自动称量。
主要技术参数：
4”5”6”晶圆片，2个片架/每工位
过滤器进口配1um滤芯
药液温度在摄氏27℃至40℃范围内可控，控制精度≤±0.5℃。
