咨询热线：
0510-85898508
联系人：陈康
手机：15951570787
地址：江苏省无锡市滨湖区青龙山路青龙山工业园C区127-2号
自动去胶机
用于光刻工序，对大圆片去胶处理
主要技术参数：4” 5” 6”晶圆片，2个片架/每工位
处理槽数：共五个，分上料槽、高温去胶槽、QDR槽、溢流鼓泡槽，下料槽。根据工艺要求合理组合。
处理方式：全过程自动方式
处理时间：0-10分连续可调
片架上下抖动：抖动频率30-60次/分，可变频调速。
- 全国统一服务热线
- 0510-85167890 85167788