双槽清洗机

该设备用于晶圆片扩散、蒸发、CVD生产前的清洗处理。该机共有六种清洗方式可供选择，清洗程序为纯水清洗、胆碱清洗、冷热纯水冲洗、酸洗（HF）、纯水清洗。整个清洗过程均在PLC的控制下自动完成，其工艺性能指标及可靠性完全达到进口同类设备水平，但价格、售后服务、备品备件的供给等是进口设备无法比拟的。