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用于三扩工序，对硅片进行清洗处理：整个清洗过程分别由11个槽完成。适用于四个4”5” 6”片架/每工位，除进出料槽需人工进行外，其余各槽的清洗顺序及清洗时间均可按所设定的要求进行全过程自动清洗。
